理事（8名）
| 理事長 矢野信太郎 | (株)やのや代表取締役 |
| 副理事長 髙城英明 | 元(株)東京精密監査役 |
| 常務理事 事務局長 高増潔 | 東京大学名誉教授 |
| 青山英樹 | 慶應義塾大学名誉教授 |
| 淺間一 | 東京大学大学院工学系研究科 教授 |
| 笹原弘之 | 東京農工大学工学府 教授 |
| 神保泰彦 | 東京大学大学院工学系研究科 教授 |
| 須賀唯知 | 明星大学連携研究センター 主幹研究員 |
監事（2名）
| 太田邦正 | 元㈱東京精密代表取締役会長 |
| 古谷涼秋 | 東京電機大学 副学長・教授 |
評議員（11名）
| 大園成夫 | 東京大学名誉教授 東京電機大学名誉教授 |
| 岡山恵実 | 日本アドラー心理学会 理事 |
| 国枝正典 | 大学改革支援・学位授与機構 特任教授 |
| 佐久間一郎 | 東京大学大学院工学系研究科 副学長・教授 |
| 高辻利之 | 日本計量機器工業連合会 常務理事 |
| 戸倉和 | 東京工業大学名誉教授 |
| 花房昭彦 | 芝浦工業大学名誉教授 |
| 葉山千津子 | 精密測定技術振興財団 評議員 |
| 船見国男 | 元千葉工業大学教授 |
| 美濃島薫 | 電気通信大学大学院情報理工学研究科 副学長・教授 |
| 矢野耕也 | 日本大学生産工学部 教授 |
顧問（2名）
| 下河邉明 | 東京工業大学名誉教授 |
| 吉川弘之 | 元東京大学総長 科学技術振興機構特別顧問 |