理事（8名）
| 理事長 矢野信太郎 | (株)やのや代表取締役 |
| 副理事長 髙城英明 | 元(株)東京精密監査役 |
| 常務理事 事務局長 高増潔 | 東京大学名誉教授 |
| 青山英樹 | 慶應義塾大学理工学部 教授 |
| 淺間一 | 東京大学大学院工学系研究科 教授 |
| 神保泰彦 | 東京大学大学院工学系研究科 教授 |
| 須賀唯知 | 明星大学連携研究センター教授 |
| 関口行雄 | 職業能力開発大学校名誉教授 |
監事（2名）
| 大園成夫 | 東京大学名誉教授 東京電機大学名誉教授 |
| 大津次郎 | 元㈱若井製作所常務取締役 |
評議員（8名）
| 太田邦正 | 元㈱東京精密 代表取締役会長 |
| 岡山恵実 | ㈱neoAGE代表取締役 |
| 佐久間一郎 | 東京大学大学院工学系研究科 教授 |
| 戸倉和 | 東京工業大学名誉教授 |
| 葉山千津子 | 精密測定技術振興財団 評議員 |
| 船見国男 | 元千葉工業大学教授 |
| 古谷涼秋 | 東京電機大学副学長・教授 |
| 栁澤忠治 | 柳忠ワークオフィス代表 社会保険労務士 |
顧問（2名）
| 下河邉明 | 東京工業大学名誉教授 |
| 吉川弘之 | 元東京大学総長 科学技術振興機構特別顧問 |